本课程为 Georgia Tech ECE 6465「Memory Device Technologies and Applications」(存储器件技术与应用),3 学分。上课时间为每周二、周四 12:30 pm – 1:45 pm,教室在 Van Leer C457。本视频录制于 2024 年 8 月 20 日,即 2024 年秋季学期的第一节课,主要内容是课程管理事项(Section 0: Admin)。
授课形式为完全线下(fully in person),不提供 hybrid 混合模式;不过课堂录像会在课后上传 YouTube 供大家复习。课程网站使用 Canvas:所有讲义(lecture slides)和作业(homework assignments)都发布在 Canvas 上,选课学生自动获得访问权限。
想提前预习的同学可以观看往期录像:Fall 2021 版本的录播课(老师口述当时课号为 4221 系列)已发布在 YouTube 播放列表。但要注意,本学期会更新部分内容、加入新材料,与往期版本并不完全相同。

主讲人为 Prof. Shimeng Yu,办公室位于 Pettit (MiRC) 116(在桥对面的 Pettit 楼),邮箱 shimeng.yu@ece.gatech.edu——联系老师的最佳方式就是发邮件。Office hour 为每周四上午 10 点至 11 点,地点在其办公室。
教育背景方面,Yu 教授 2009 年在北京大学(Peking University)获微电子学士学位,随后在 Stanford University 先后获电子工程硕士(2011)与博士(2013)学位。职业经历:2013–2018 年任 Arizona State University 助理教授——在 ASU 期间就开始讲授本课程,至今已有约 10–11 年的教学积累;2018 年加入 Georgia Tech 任副教授(2018–2023),2023 年起为正教授,2024 年起为 Dean's Professor。
Yu 教授是 IEEE Fellow,获选理由是其在非易失性存储器(non-volatile memories)与存内计算(in-memory computing)方面的贡献——存储器正是他的专长领域,这也是他开设本课的原因。欢迎访问其课题组网站 shimeng.ece.gatech.edu 了解相关研究。

课程围绕「从单元到阵列、再到缩放趋势」的主线设定了三大目标:
目标一:能够分析单个存储位元(bit cell)的操作,及其稳定性(stability)、变异性(variability)、可靠性(reliability)问题。无论讲哪种存储技术,课程都会从单 bit 存储单元讲起。
目标二:能够分析带外围电路(peripheral circuitry)的存储阵列(memory array)操作,包括位线/字线、译码器(decoder)等,以及读/写操作的时序(timing)和施加在 wordline/bitline 上的偏置电压(biases)——存储器必须组成阵列才具备实际功能。
目标三:理解主流存储技术的缩放趋势(scaling trend)以及新兴存储技术的动机——既包括产业界的主流技术,也包括学界和产业前瞻团队正在研究的新兴存储器,理解它们如何缩放以及缩放过程中的挑战。
课程定位为研究生水平、前沿技术导向(cutting-edge technology-oriented)、由产业趋势驱动,与标准教科书式课程很不一样,更实践化、更产业导向。相应地,学生需要主动阅读文献(论文)作为作业的一部分,以理解产业趋势。

必需的先修课是本科水平的半导体器件与数字电路课程,例如 Georgia Tech 的 ECE3030 Physical Foundations of Computer Engineering、ECE3040 Microelectronic Circuits,或其他学校的等价课程(即本科半导体器件物理 + 数字 VLSI)。
推荐但不强制的是研究生水平的同类课程,例如 ECE6450 Introduction to Microelectronics Technology、ECE6130 Advanced VLSI Systems,或等价课程。

本课程没有官方指定教材。参考书为 Yu 教授本人的专著:S. Yu, Semiconductor Memory Devices and Circuits, CRC Press / Taylor & Francis, 2022(疫情期间、约三年前写成,正是作为本课的参考书),出版社页面见此链接。

总评由三部分构成:
| 计分项 | 占比 | 说明 |
|---|---|---|
| 作业(Homework) | 50% | 共 5 个 problem sets,每个占 10%;部分题目需要 MATLAB 等数值工具的预备知识;作业以数字方式提交到 Canvas(如把纸面解答扫描后上传),不接受纸质提交 |
| 期中考试(Midterm) | 25% | 约 10 月下旬(Late October),在本教室进行,时长等同一次常规课(1 小时 15 分钟) |
| 期末考试(Final) | 25% | 按 Registrar 的期末考试时段安排(约 12 月初) |
最终等级基于全部计分项按曲线(curve)给分。老师给出了往届的预期等级分布作为参考(并强调「subject to change」,是否适用取决于本学期的整体表现):85 分以上为 A,70 分以上为 B,55 分以上为 C,40 分以上为 D,40 分以下为 F。

其余事项——学术诚信(Academic Integrity)、残障学生便利(Accommodations for Students with Disabilities)、宗教节日缺席、医疗紧急情况、Student-Faculty Expectations Agreement 等——请参见已上传至 Canvas 的 syllabus。

半导体存储与 CMOS 缩放概述:课程开篇先介绍存储子系统概览,并复习 CMOS 缩放趋势(scaling trend),由此引入产业的缩放趋势、产业动态与技术趋势。
SRAM:从 6T(六晶体管)基本单元的操作讲起,涵盖噪声容限(noise margin)、稳定性、缩放问题与版图(layout),以及变异性与可靠性问题。最新趋势部分包括 8T cell、FinFET、堆叠纳米片(stacked nanosheet)晶体管和背面供电(backside power delivery)。老师特别说明:三年前的版本只讲了 FinFET 设计,但产业演进很快,本学期新增了针对先进节点(3 nm、2 nm、1 nm 及以后)的内容,包括基于堆叠纳米片的晶体管与背面供电——这些对维持 SRAM 在未来节点的可缩放性非常重要。
DRAM:从 1T-1C(一晶体管一电容)基本单元的操作讲起,涵盖制造工艺、结构与版图。最新趋势是 HBM(高带宽存储器)——基于 3D TSV(through-silicon via,硅通孔)+ micro bump 键合、由 2D DRAM 三维堆叠而成,是当下非常热门的话题;未来缩放方向是 Monolithic 3D DRAM(单片 3D DRAM),学界与产业前瞻团队仍在研究。时间允许的话还会介绍可与逻辑芯片集成的嵌入式 DRAM(eDRAM)。

FLASH 存储器:涵盖器件物理、NAND 与 NOR 架构、可靠性与缩放问题,最新趋势是 3D 垂直 NAND(3D vertical NAND)。老师点评道:回顾过去三年,3D NAND 领域除了堆叠层数越来越高之外没有太多新想法,没有根本性的技术突破,所以这部分内容更新不多;但产业仍在持续缩放——单纯不断加层的路线中其实有很多挑战,课上会展开讨论。
新兴存储器(Emerging memories):其中一些已被产业商业化,另一些仍处于研究阶段。主题包括交叉点阵列架构(cross-point array architecture)、RRAM(阻变随机存取存储器)、PCM(相变存储器)、MRAM(磁性随机存取存储器)和铁电存储器(ferroelectric memories)。Yu 教授的课题组正活跃研究其中若干种新兴存储器,课上会展示一些最新的研究进展。

存储阵列设计(Memory Array Design):讲授外围电路(peripheral circuits)的电路级技术,特别是灵敏放大器(sense amplifier)——它对从存储阵列中检测数据非常重要。课程还会介绍 bank 级仿真器(bank-level simulator),供学生从架构与组织(architecture & organization)的角度练习设计存储阵列。
新应用——面向 AI 硬件的存内计算(in-memory computing for AI hardware):这是当下热门的研究方向,被认为是在片上加速 AI 算法的好方法,课程将介绍存内计算的相关概念。

老师强调日程「subject to change」:会视课堂实际进度调整,也可能因他出差(需为学术社区和赞助企业的事务外出)而变动。全学期共 5 次作业(HW1–HW5),作业截止日为周五。16 周安排如下:
| 周次 | 日期 | 授课内容 | 作业 |
|---|---|---|---|
| Week 1 | 8/20–8/22 | Intro / Review of CMOS Scaling | — |
| Week 2 | 8/27–8/29 | SRAM 1-2 | — |
| Week 3 | 9/3–9/5 | SRAM 3-4 | HW1 发布 |
| Week 4 | 9/10–9/12 | SRAM 5 / DRAM 1 | HW1 截止 |
| Week 5 | 9/17–9/19 | DRAM 2-3 | HW2 发布 |
| Week 6 | 9/24–9/26 | 3D IC(线上)/ DRAM 4 | — |
| Week 7 | 10/1–10/3 | DRAM 5 / FLASH 1 | HW2 截止 |
| Week 8 | 10/8–10/10 | Fall break(秋假)// FLASH 2 | HW3 发布 |
| Week 9 | 10/15–10/17 | FLASH 3-4 | HW3 截止 |
| Week 10 | 10/22–10/24 | 期中考试 / Emerging memories 1 | — |
| Week 11 | 10/29–10/31 | Emerging memories 2 | HW4 发布 |
| Week 12 | 11/5–11/7 | In-memory compute / NeuroSim(线上) | HW4 截止 |
| Week 13 | 11/12–11/14 | Array Design 1-2 | HW5 发布 |
| Week 14 | 11/19–11/21 | RRAM / PCM | HW5 截止 |
| Week 15 | 11/26–11/28 | MRAM / Thanksgiving(感恩节) | — |
| Week 16 | 12/3–12/5 | Ferro / 期末考试(期末考试周,按 Registrar 安排) | — |
视频最后老师两次询问「any questions」,无人提问(老师笑称 "this is a very shy audience"),随后在约 18:12 处结束行政部分("let me stop here for the logistics")。

| 术语 | 中文 | 说明 |
|---|---|---|
| bit cell | 位元 / 存储单元 | 存储 1 bit 数据的最小单元,各类存储技术分析的起点 |
| stability | 稳定性 | 存储单元保持/读取数据时不被翻转的能力 |
| variability | 变异性 | 工艺等原因导致的单元间参数差异 |
| reliability | 可靠性 | 单元长期工作不失效的能力 |
| memory array | 存储阵列 | 由位元按行列组织、配合外围电路才能工作的存储结构 |
| peripheral circuits | 外围电路 | 译码器、灵敏放大器等操作存储阵列所需的辅助电路 |
| wordline / bitline | 字线 / 位线 | 阵列中选择行与读写数据的信号线 |
| decoder | 译码器 | 把地址转换为字线/位线选择信号的电路 |
| scaling trend | 缩放趋势 | 器件特征尺寸不断微缩的产业发展趋势 |
| SRAM | 静态随机存取存储器 | 基于 6T 单元的易失性存储器 |
| 6T cell | 六晶体管单元 | SRAM 的基本存储单元 |
| noise margin | 噪声容限 | 衡量 SRAM 单元抗噪声干扰能力的指标 |
| FinFET | 鳍式场效应晶体管 | 先进节点主流晶体管结构 |
| stacked nanosheet | 堆叠纳米片(晶体管) | 3nm/2nm/1nm 及以后先进节点的晶体管结构 |
| backside power delivery | 背面供电 | 从晶圆背面给电路供电的先进工艺,对 SRAM 持续缩放重要 |
| DRAM | 动态随机存取存储器 | 基于 1T-1C 单元的易失性存储器 |
| 1T-1C | 一晶体管一电容 | DRAM 的基本单元结构 |
| HBM | 高带宽存储器 | 通过 TSV 与 micro bump 把多层 2D DRAM 三维堆叠而成 |
| TSV | 硅通孔(Through-Silicon Via) | 实现芯片三维堆叠互连的垂直通孔 |
| micro bump | 微凸点 | 芯片堆叠键合用的微小金属凸点 |
| monolithic 3D DRAM | 单片 3D DRAM | 仍在研究中的 DRAM 未来缩放方向 |
| eDRAM | 嵌入式 DRAM | 可与逻辑芯片集成的 DRAM |
| FLASH memory | 闪存 | 基于浮栅类器件的非易失性存储器 |
| NAND / NOR | 与非 / 或非(闪存架构) | 两种闪存阵列组织方式 |
| 3D vertical NAND | 3D 垂直 NAND | 通过不断增加堆叠层数实现缩放的现代闪存 |
| emerging memories | 新兴存储器 | RRAM、PCM、MRAM、铁电存储器等新型存储技术的统称 |
| cross-point array | 交叉点阵列 | 新兴存储器常用的高密度阵列架构 |
| RRAM | 阻变随机存取存储器 | 利用电阻变化存储数据 |
| PCM | 相变存储器 | 利用材料晶态/非晶态电阻差异存储数据 |
| MRAM | 磁性随机存取存储器 | 利用磁性状态存储数据 |
| ferroelectric memory | 铁电存储器 | 利用铁电材料极化状态存储数据 |
| sense amplifier | 灵敏放大器 | 从存储阵列读出微弱信号的关键外围电路 |
| bank-level simulator | bank 级仿真器 | 从架构/组织角度设计存储阵列的练习工具(课程将介绍,如 NeuroSim 等线上专题) |
| in-memory computing | 存内计算 | 在存储器内直接做计算以加速片上 AI 算法的新应用方向 |
| IEEE Fellow | IEEE 会士 | IEEE 最高会员等级,讲师因非易失性存储与存内计算贡献当选 |
| cheat sheet | 小抄 / 速查纸 | 考试允许携带的一张 A4 备忘纸 |
| curve (grading on a curve) | 曲线给分 | 按全体成绩分布相对评定等级 |